功率放大器ATA4012在MEMS光柵測試驅動中的應用

MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)發(fā)生改變，從而實時改變光柵的工作性能，基于其*的優(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。功率放大器ATA-4012具有較高的電壓輸出、高頻率響應，大范圍驅動容性負載能力等優(yōu)點，完夠滿足驅動MEMS光柵測試的需求。

靜電驅動的能量密度較小，當結構需要比較大的工作位移，就必須增大驅動電壓，驅動電壓甚至達到上百伏，當結構受靜電力作用，由于機械結構*的慣性而產(chǎn)生彈性震蕩，增大系統(tǒng)延遲。實際工作時，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導致驅動電路容性負載的變化。

MEMS光柵采用表面硅微加工工藝，通過加載驅動電壓，每一個光柵梁單元都可以在靜電力作用下通過引線連接實現(xiàn)編程控制，改變驅動電壓就可以控制光柵梁的運動位移。ATA-4012功率放大器輸出電壓160Vpp（±80V），頻率響應DC-1MHz范圍內，功率160W，可驅動高壓功率型負載。

功率放大器產(chǎn)品的功能特點及優(yōu)勢：

大輸出電壓160Vp-p(±80V)

大輸出電流2Arms

帶寬（-3dB）DC~1MHz

壓擺率500V/μs

電壓增益數(shù)控可調

一鍵保存常用設置

可與主流的信號發(fā)生器配套使用

輸入為BNC接口，輸入電阻50Ω、5kΩ兩檔可選，匹配高低內阻信號源。

輸出為香蕉插座，大輸出電壓160Vp-p(±80V)，輸出電流2Arms。

電壓增益數(shù)控0~50倍可調，具體分為粗調（1step）和細調（0.1 step）兩種。結合液晶面板增益的顯示，能夠快速調整至需要的電壓值。

操作面板液晶顯示，設備狀態(tài)及參數(shù)動態(tài)顯示，交互界面一目了然，簡潔易懂。

1/100 Monitor：此端口電壓為輸出端口的1/100，監(jiān)測口為BNC接頭，可以直接連接到示波器進行輸出電壓的實時監(jiān)測。

MEMS光柵測試是采用信號發(fā)生器對其動態(tài)性能進行測試，陶瓷電容代替光柵作為負載，MEMS光柵具有多種驅動方式，而靜電驅動的MEMS光柵，由于其工藝易于實現(xiàn)、耗能低、頻率響應高，因此是常用的驅動方式。